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1640A

MKS Instruments
最終更新日: 2020年05月13日

ソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ

・MEMSソニックノズルを利用した圧力ベースのマスフローコントローラ
・10 Torr未満の圧力でのガス流量の制御
・Baratron圧力トランスデューサーによる圧力ベースの流量測定
・厳格なメタルシールド設計とSTRIFEテストにより、長期的な信頼性を確保
・熱式(サーマル)マスフローコントローラと同じ設置面積と電気的仕様
・アプリケーション:イオン注入用のSafe Delivery Source(SDS)用ガス供給、常圧TEOS CVDのオゾン供給など

基本情報

・TypeMass Flow Controller
・Full Scale Flow Range 2 - 20 sccm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 5 psig
・Control Range 5-100% of Full Scale (typical)
・Typical Accuracy Gas/flow rate dependent (including non - linearity, hysteresis, and non - repeatability referenced to 760 mmHg and 0°C)
・Repeatability ±0.2% of Full Scale
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient <0.02% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient <0.2% of Reading/°C
・Warm-up Time <30 min (to within 0.2% of Full Scale of steady state performance)
・Typical Settling Time <5 sec to 100% of Full Scale (per SEMI Guideline E17-91)
・Operating Temperature 0 - 50°C
・Set Point Command Signal  0 - 5 VDC from <20 kOhm

・Flow Input Output Signal 0 - 5 VDC into >10 kOhm
・Wetted Materials 316L stainless steel, nickel, InconelR, Kel - FR, Chemraz or Kalrez (gas/application dependent)
・External Leak Integrity <1 x 10-9
・Leak Integrity Through Closed Valve 1% of Full Scale (Nitrogen) at 15 psig inlet to atmosphere. To assure no flow-through, a separate positive shut-off valve is required.
・Fitting Type Compatible With Swagelok 4VCR
・Compliance CE
・Proof Pressure 45 psia
・Normal Operating Pressure Differential below 10 Torr
・Analog I/O Connector15-pin type "D"
・Maximum Current Required at Start-up±15 VDC (±5%) @ 200 mA
・Typical Current Required at Steady State±15 VDC (±5%) @ 100 mA

価格帯 10万円以上 50万円未満
納期 1週間以内
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取扱企業

MKS Instruments

業種:産業用電気機器 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810, United States 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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