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1579A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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汎用樹脂封止デジタルマスフローコントローラ

1579Aは、研究、産業における多数の分野向けに開発された最新世代汎用デジタルマスフローコントローラ。実績のあるMKSテクノロジに基づき、コントローラの設定時間（１秒以下）が短く、高精度の制御を可能にしている。これにより、プロセスサイクルの安定化のためのアイドル時間を最小限に抑え、高い再現性が求められる高速サイクルプロセスに対応したものとなっている。複数の駆動電圧（24VDC±15VDC）に対応。15種類のガステーブルに対応。

基本情報

･Control Range 2～100% of Full Scale
･Full Scale Flow Range 50, 100, 200, 300 slm (N2 in slm)
･Fitting Type Standard: 8 VCRR male
･Analog I/O Connector 15-pin Type "D" male
･Seal Material Buna-N, Neoprene, Kalrez
･Maximum Inlet Pressure 100 psig
･Normal Operating Pressure Differential
15 to 60 psid (50, 100 slm)
25 to 60 psid (200 slm)
40 to 60 psid (300 slm)
･Typical AccuracyStandard ±1% of Full Scale
･Repeatabilit y± 0.2% of Full Scale
･Resolution 16 Bit
･Zero Temperature Coefficient <0.05% of Full Scale /°C
･Span Temperature Coefficient <0.10% of Full Scale /°C
･Pressure Coefficient ±0.02% of Reading/psi
･Warm-up Tim e30 minutes
･Typical Settling Time <1 sec
･Operating Temperature 15°～40°C
･Power Requirements 20.5 to 30 VDC, 300 mA
･Set Point Command Signal 0 to 5 VDC from < 20 kΩ
･Profibus Connector 2 x 9-pin Type "D" male (analog) and female (Profibus)
･Wetted Materials 316L S.S.T, Nickel, VitonR
･External Leak Integrity <1 x 10-9 scc/sec He
･Leak Integrity Through Closed Valve <0.1% of Full Scale
･Compliance CE

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取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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