大手半導体製造装置企業の研究開発
1.拡大する研究開発投資
半導体の微細化、新構造、新材料の導入などにより、製造プロセスはより複雑になり、困難さが増している。それに対応していくため、半導体製造装置企業では研究開発に力を入れている。各社とも2020年～2022年は半導体製造装置事業が好調に推移、それに伴い研究開発投資も拡大、新しい研究開発施設の建設計画も相次いでいる。現在、半導体製造装置市場は下降局面にあり事業環境は厳しいものの、研究開発投資への意欲、投資は衰えていない。
今回の特集では、半導体製造装置売上高の上位4社、米Applied Materials社（AMAT）、蘭ASML Holdings社(ASML）、米Lam Research社、東京エレクトロンの研究開発投資動向をまとめた。
表1に4社の研究開発費推移と研究開発費の売上高に占める比率を示す。研究開発規模が最も大きいのは、ASML。2022年12月期で32億5,400万ユーロに達している。売上高に占める研究開発費の比率（研究開発費比率）は同期で15.4％に達している。AMAT、Lam Researchの研究開発費比率は9～10％であり、同社の比率の高さが際立っている。
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