リソグラフィ装置の製品一覧

ウェーハ上にパターンを転写、描画するための装置

DT-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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ステッパ「600シリーズ」

Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE) 

i線~ArFまで対応する1:4スキャナ

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MBMW-101(IMS Nanofabrication GmbH製品)

日本電子株式会社

マルチビーム電子線描画装置

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RF310A

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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SK-60EX/80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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SC-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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DW-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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