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MBM-3000

株式会社ニューフレアテクノロジー
最終更新日: 2023年12月08日

2nmノード対応最先端マルチビームマスク描画装置

SPIE2023でも紹介された2nmノード対応最先端マルチビームマスク描画装置。12nmのbeamletsと強力なカソードにより、 3.6 A/cm2のビーム電流を実現している。これにより前機種のMBM-2000PLUSを上回る高速描画、高解像度を実現している

基本情報

次世代のblanking aperture array (BAA) を搭載することで、ビーム数を従来の2倍にしている

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取扱企業

株式会社ニューフレアテクノロジー

業種:産業用機械  所在地:神奈川県 横浜市磯子区新杉田町 8-1

電子ビームマスク描画装置、エピタキシャル成長装置、マスク検査装置の3製品が事業の中心

電子ビームマスク描画装置は、電子ビームによる描画制御技術コア技術として、精密機械制御、大規模データ処理、レーザ計測技術等の要素技術を統合した装置。同社が世界のトップ企業である。EUVリソグラフィ用マルチビーム描画装置も開発している。マスク検査装置も実績を伸ばしている。エピタキシャル成長装置も高品質膜形成の需要増に伴い、需要が高まっている。

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