薄膜形成の製品一覧

製造工程で必要となる各種の薄膜を形成する装置

SME-200

株式会社アルバック

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

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AIX G5+C

Aixtron SE

150/200mm基板(Si/サファイア/SiC)上の先進GaNアプリケーション向け最新プラネタリーリアクターモジュール。生産性と性能を向上させています。

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有機ELディスプレイパネル蒸着用高精細ハイブリッドマスク(FMM)

マクセル株式会社

リアルRGB600ppiレベルの高精細化を実現

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