半導体用語集
スルーザウォール構造
英語表記：through the wall structure
プロセスエリアとサービスエリアを区画する壁を貫いて設置することが可能な半導体製造装置の構造。ウェーハの授受以外はすべてサービスエリア側で可能な構成となっている。ベイシステムに適合し、多くの薄膜形成装置、イオン注入装置、ドライエッチング装置などがこの構造を採用している。
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