半導体用語集
ミニエンバイロメント
英語表記：minienvironment
製品を汚染源から隔離するための囲いでとりかこまれた局所清浄環境のことで、実用化された代表的なものに、SMIFｰPodなどがある。半導体製造装置のウェーハ搬送系などに囲いを設け、局所的に高清浄度空間を形成する。クリーンルーム全体の高清浄度化が不要であり、クリーンルームのみを考えれば、コスト削減、省エネルギーの利点を持つ。
今後、在来ポッドシステムに代わる、全面開閉型のポッドを用いたFOUPシステムの採用が予定され、実用化が急がれている。なお、ミニエンバイロメントの採用により、従来のようなベイシステムや装置のスルーザウォール構造は不要となり、クリーンルームは間仕切りのないボールルームと呼ばれる非一方向流型クリーンルーム構造が用いられる。
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