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NE-550EX

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

・磁場アシストにより他のICP方式より低圧、低電子温度、高密度プラズマが発生でき、イオン性エッチングからラジカル性エッチングまで幅広いプラズマ制御が可能なため、開発toolとしての多用なプロセスに対応できる。
・RF投入窓のデポ物付着防止用「スター電極」を搭載。また加熱機能を有して再現性・安定性重視の装置コンセプト。
・高信頼性の搬送ロボット、装置構造がシンプルでメンテナンスが容易等研究開発Toolとしての信頼性を実現。
・豊富なオプション機能、カセット室追加も可能。
・量産ライン向けに同一チャンバーで構成したマルチチャンバー対応のNE-5700、NE-7800をランナップ。
・用途
 化合物材料(LED、LD、高周波デバイスやパワーデバイス)。
 電極加工やメタル配線、有機膜、セラミック等の加工。
 強誘電体や貴金属、磁性膜等の難エッチング材料の加工に。
 ナノインプリント、NEMS、MEMS、各種センサー。
 バイオチップや微小流体デバイス、フォトニック結晶など。

基本情報

システム構成 研究開発/プロトタイプ装置 + Load Lock室
基板サイズ ~150 mm
操作圧力(Pa) 0.07?6.7
面内・面間均一性 ±3% max.
基板温度制御 静電チャック

価格帯 5000万円以上 1億円未満
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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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