エッチング装置の製品一覧
Primo SSC AD-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…
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Primo AD-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
40~7nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する
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Primo D-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する
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イオンミリング装置 ArBlade 5000（SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）
日立イオンミリング装置の最上位機種。 ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。
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ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…
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