エッチング装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの対象物をガス、プラズマ、イオンなどを利用して削っていく装置

PlasmaPro 100 ALE

Oxford Instruments

Atomic Layer Etching(ALE)装置

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Centura Sculpta

Applied Materials,Inc

EUVダブルパターニングに代わる、よりシンプルで高速、かつコスト効率の高いパターニング装置

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SENSE.I

Lam Research

高感度の新素材と複雑なアーキテクチャーの課題に対応する新装置

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Versys Metalシリーズ

Lam Research

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…

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Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

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Primo Nanova

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置

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Primo TSV

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

高性能、高生産性のディープシリコンエッチング製品

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Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。

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Primo iDEA

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

チップエッチングとフォトレジスト除去のための革新的な統合ソリューションを提供する。デュアル反応プラットフォームエッチングおよび接着剤除…

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