エッチング装置の製品一覧
Versys Metalシリーズ
困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…
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Primo Nanova
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置
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Primo HD-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。
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Primo iDEA
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
チップエッチングとフォトレジスト除去のための革新的な統合ソリューションを提供する。デュアル反応プラットフォームエッチングおよび接着剤除…
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Primo SSC AD-RIE
Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…
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