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Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)
最終更新日: 2021年03月04日

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。

Primo SSC AD-RIE™設計に基づく6つのシングルリアクションチャンバーを備えたシステムであり、中高のアスペクト比のエッチングに包括的なソリューションを提供する。この装置には、より高い同期パルス無線周波数電力、高出力高温静電トレイ、ガスパルス、マルチゾーンガス調整、冷却可能なフォーカスリングプロセスコンポーネント、より安定した上部電極温度制御などの新機能がある。Primo HD-RIEは、3D-NANDおよびDRAMの高アスペクト比のトレンチおよび深穴エッチングで優れた性能を発揮し、いくつかの主要な製造プロセスで大量生産を実現している。

基本情報

・独立したガス輸送システムを備えたシングルリアクションプキャビティ設計
・マルチゾーンガス調整とデュアルゾーンESC温度制御
・高出力および高温静電吸盤
・ガスパルス
・2段同期パルス無線周波数システム、イオン衝撃エネルギーを提供するための非常に高出力の低周波数無線周波数パルス
・安定した上部電極温度制御システム
・独立したガス輸送システムを備えた単一反応プラットフォームキャビティ設計
・ウェーハのエッジがエッチングされて停止するのを防ぐための冷却可能なフォーカシングリング
・中高アスペクト比のエッチング用の上部電極と下部電極の高面積比

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取扱企業

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

業種:産業用機械 中国上海市浦東区金橋輸出加工区(南部)太華路188号 201201 

エッチング装置、ALD装置が主力

LED向けMOCVD装置分野でシェアが拡大し、プラズマエッチング装置に参入した。TSMC、UMC、SMICなど大手ファンドリ向けで実績を残している。

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