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SENSE.I

Lam Research
最終更新日: 2022年11月04日

高感度の新素材と複雑なアーキテクチャーの課題に対応する新装置

Sense.iは業界をリードするKiyoおよびFlexプロセスモジュールの技術を進化させた、従来の機能を正確かつ一貫して生成する高いパフォーマンスを提供します。 Sense.iはクリティカルおよびセミクリティカルなエッチングアプリケーションに対応した差別化技術とアプリケーションにフォーカスした機能を提供する。また、新しいシステムアーキテクチャは、今後10年およびそれ以降のロジックおよびメモリーデバイスの進化ロードマップに適合する生産性と再現性を実現します。

基本情報

・導体エッチング、誘電体エッチング
・最先端のチャンバテクノロジ、革新的なEquipment IntelligenceR、最高のウェハ出力密度
コンパクト、高密度のアーキテクチャーにより実現する高い生産性
・最新のロジックおよびメモリーデバイスのロードマップをサポートする、より高いプロセスパフォーマンスと拡張性を提供できるようにゼロから設計されています
・スマートセンシングにより、プロセスモジュールの成果を最適化し、大量生産での再現性を向上
・画期的な自動化システムが自律的なキャリブレーションとメンテナンスを実行し、ダウンタイムと人件費を削減

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取扱企業

Lam Research

業種:産業用機械 4650 Cushing Parkway,Fremont, CA 94538,United States 

革新的な製造装置で各社のシリコンロードマップ達成に貢献

デポジション(金属配線薄膜、絶縁膜、薄膜処理)、エッチング(導電性材料、絶縁膜材料、ディープエッチ)、ストリップ&クリーン(表面処理、洗浄)の製品をラインナップしている。微細加工と高い生産を両立させている。

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