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CE-L

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日
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小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

・標準で5段大気カセット室を装備し、あらかじめセットした複数のトレイを自動でプロセス処理可能
・プロセスはタッチパネルでのレシピ入力可能
・並行平板 (Rタイプ) 標準、ICP (Iタイプ) のオプションを採用できます。
・用途：研究開発

基本情報

装置構成 大気カセット + 大気搬送 + エッチング室
搬送機構 圧空式マニピュレーター (大気搬送)
対応基板サイズ φ150mm x 1 枚
プラズマ方式 平行平板 (CCP), (ICP方式はオプション)

価格帯 5000万円以上 1億円未満
納期 1ヶ月以内
お問い合わせ

取扱企業

株式会社アルバック

業種：繊維  所在地：神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
　変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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