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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

次世代の半導体デバイスを実現するため、薄膜がより薄くなるにつれて、薄膜層をより高精度に制御するプロセス制御技術が必要になっています。PlasmaPro 100 ALEは、下記のような特別なハードウェアで、これ実現しています:

高精度に制御したガス注入
低RF出力供給と優れた再現性
高速PLCによる高速スイッチング
これらの要素により、原子スケールの高精度エッチングが可能となります。

基本情報

PlasmaPro 100シリーズは多くの実績を持ち、90%以上の稼働率および、ウェハー装入時の迅速な立ち上がりとプロセス実行を実現します。PlasmaPro 100シリーズは、MEMSやセンサー、オプトエレクトロニクス、ディスクリート、ナノ技術を含む、多様な市場に適用します。研究開発用としての柔軟性を持つとともに、生産としてのニーズにも対応できる構造を備えています。

PlasmaPro 100 ALE には次の特長があります。

優れたエッチング深さ制御
滑らかなエッチング表面
低ダメージプロセス
デジタル/サイクル・エッチングプロセス-ALDと同様のサイクル毎のエッチング
高選択性
最大200mmのウェハー処理が可能
高アスペクト比エッチングプロセス
ナノスケール層のエッチング

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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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