スパッタリング装置の製品一覧

ターゲット材にArなどのイオンを高速で衝突させることにより、ターゲットからはじき出した原料分子を利用して成膜を行う装置

表面活性化接合タイプ常温接合装置

株式会社ムサシノエンジニアリング

基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能

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キヤノンアネルバ 株式会社


キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。

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Applied Materials,Inc


成膜、エッチング、イオン注入装置、洗浄装置、各種検査装置まで幅広いラインナップを提供しています。保守、サポート体制も充実させています。

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SPST Technology


エッチング装置ではシリコン深堀エッチングなどが高アスペクト形状のエッチング装置で、半導体,MEMS分野で実績を残している。スパッタリグ装置は…

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