半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…

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搬送キャリア

東洋精密工業株式会社

チップ搬送用のトレイ

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移動コンテナ(タンク)からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

ナブテスコサービス株式会社

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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精密研磨装置 MAシリーズ

ムサシノ電子株式会社

試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…

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UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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Segul

株式会社アルバック

GaNスパッタリングモジュール

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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