半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

ソリッドステートマイクロ波電源『300W』

東京計器株式会社

研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。

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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

PHT株式会社

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送装置

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

PHT株式会社

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

PHT株式会社

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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移動コンテナ(タンク)からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

ナブテスコサービス株式会社

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、 中身を自動で払い出せます。 高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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大口径ノンスピルカップリング『TCH』

ストーブリ株式会社

残圧下6barまで接続が可能!着脱時の液だれほぼ無しを実現!ハンドルを回して簡単着脱の大口径カップリング!(25A~50A)

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水冷回路 自動調芯ブラインドメイト仕様 ノンスピルカップリング『CGD』

ストーブリ株式会社

チャンバーLIDやテストハンドラの水冷に適した、最大±1mmの芯ずれを補正するブラインドメイト仕様(ロック機構なし)のコネクタです。 コネクタ…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『DAG』

ストーブリ株式会社

ノンスピル構造、押し込むだけで片手で接続できるオートマチック・ボールロックを備えた、コンパクトな水冷用途専用のクイックカップリングです…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『MCB』

ストーブリ株式会社

ノンスピル構造、オートマチック・ボールロックを備えた高性能カップリングです。 豊富なオプション設定がございます。 耐極低温(-100℃ま…

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