半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

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レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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