半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧
SU-3300
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
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SS3200
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現
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SS-3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能
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SU-3200
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現
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SU2000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現
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SU3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応
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SS-80EX
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ
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LT3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。
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LA-3000-F
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ウルトラシャロージャンクション形成を可能に
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DW-3000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置
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