半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

IH-860DSIC

株式会社アルバック

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

IMX-3500

株式会社アルバック

研究開発用中電流イオン注入装置

SOPHI-400

株式会社アルバック

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

SOPHI-30

株式会社アルバック

低加速・高濃度対応のイオン注入装置（中電流イオン注入装置）

RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

NE-550EX

株式会社アルバック

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

CE-L

株式会社アルバック

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。