半導体用語集
選択比
英語表記：Selectivity Etching Ratio
エッチング用マスク（PR）をかけて、被エッチング膜をエッチングする場合に、マスク（PR）と被エッチング膜のエッチングレート比を数値で表したものが選択比である。被エッチング膜と基板の間の選択比も同じことが言える。
例；選択比＝50とは、被エッチング膜のエッチング速度が50μm/分で、PRマスク材が1μm/分の場合を選択比50と
いう。
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