半導体用語集
エッチング装置
英語表記：etching system
ウェーハ又はウェーハ表面上に形成された薄膜の全面または特定した場所を必要な厚さだけ食刻する装置。
関連製品
エッチング装置用大口径シリコンインゴット
株式会社豊港
豊港化学では、大口径φ250～φ600のシリコンインゴットを取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL：https://toyokou.jp/semiconductor/Silicon-wafer
エレクトロニクス材料 › 半導体材料 › シリコン
ULHITETM NE-7800H
株式会社アルバック
FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・高密度プラズマエッチング装置です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › エッチング装置 › その他
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