半導体用語集
RF型加速器 RFQ型加速器
英語表記：radio frequency linac(linear accelerator)radio frequency quadrapole accelerator
イオン源から引き出されたイオンを高周波を利用して加速する方式のイオン注入装置。大地電位の短いビームライン中で、比較的低い電圧のRFにより複数回繰り返しイオンを加速することによってMeVクラスの高エネルギーイオンを生成する。複数のRFキャビティを直列に配したRF線型加速方式と単一の四重局中でイオンの加速と収束を繰り返すRFQ型がある。
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