半導体用語集
スピンデベロッパ
英語表記：spin developer
ウェーハを回転させることにより、レジストの現像、洗浄、乾燥を行う装置。液の供給方式により、スプレー型、パドル型と分類され、またウェーハの回転状況により、回転型と静止型がある。液供給系、スピンモータ、カップの組合せで構成される。溶剤使用、アルカリ水溶液使用など使用液種で型式が異なることもある。
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