半導体用語集
均熱長
英語表記：soak length
バッチ式熱処理装置では縦、または横方向に処理ウェハを並べて一括処理を行う。このため各ウェハごとに加熱源となるヒータの温度は均ーである必要があり、これが長ければ一括処理できるウェハも増すことが可能となる。
このためにヒータヘの印加力の制御方法も、ヒータを一定の長さごとに個別に制御したり、主にSiCなどで形成された容器を加熱源ヒータと反応室の間に入れ、ヒータの温度ムラを吸収しウェハヘの温度を均ーにするなどの技術が用いられている。
一般的なバッチ式装置では、ヒータの均熱長は900mm程度が確保されており、8インチウェハを用いた場合に150枚のウェハの一括処理が可能である。
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