半導体用語集
パーティクル
英語表記：particle
半導体デバイスの製造歩留まりに影響を与える微粒子状異物をパーティクルと呼ぶ。半導体の製造は一般的にクリーンルームの中で行われる。クリーンルームは空気中の浮遊パーティクルが極めて少ない環境になっているが、製造プロセスにおいては人体からの発塵、装置の稼働部からの発塵、使用しているカセット、器具などからの発塵を避けることはできない。これらはその種類、形が様々であるが、ウェーハ上に付着、堆積すると、リソグラフィ、ドライエッチングなどの工程で回路パターンのショートや切断を引き起こす原因になる。パーティクルの測定には通常パーティクルカウンタ、表面検査装置などが用いられる。
関連製品
Surfscan SP7xp
KLA Corporation
先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 検査装置 › ウェーハ欠陥検査装置
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