半導体用語集
ラインアンドスペース
英語表記：line and space
直線状のパターンの幅をライン、これが等間隔で並んでいる場合のラインとラインの間隔をスペースと呼び、ラインとスペースの幅が等しい状態でウエーハ上に投影された像をラインアンドスペースという。通常、解像性能を示す尺度として使用される。
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