半導体用語集
マウント装置 ウェーハ貼付機
英語表記：mounting machcine mount station
ウェーハにワックスを塗布し、このウェーハをガラスやセラミック製マウント板に張り付ける装置。カセットをセットすると全自動でマウント板に張り付けが修了するものもある。
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