半導体用語集
サイトFPD SBID SFLD SF3D SFQD
英語表記：site focal plane deviation site back ideal deviation site front least-squares global deviation site front three points deviation site front least-squares site deviation
吸着固定などにより、ウェーハ裏面を平面に矯正した状態にて、各サイトごとに指定された焦点面からのサイト表面での最大距離。
SEMIでは基準面ごとのサイトFPDが以下の様に定義される。
裏面基準面にてSBID。
グローバルベストフィット基準面にてSFLD。
グローバル3点基準面にてSF3D。
サイトベストフィット基準面にてSFQD。
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