半導体用語集
シート抵抗測定
英語表記：sheet resistance measurement
四探針法によるシート抵抗の測定は、プロセスの評価および管理に幅広く使用されている。それは、導電性の薄膜の電気的特性を評価する場合、抵抗率（Ωｰcm）より四探針法によるシート抵抗の方が測定容易なためである。メタルの膜厚管理では、シート抵抗が膜の厚さの情報を含んでいることを利用する。また、膜厚換算の関数を設定することにより、データをシート抵抗ではなく膜厚で出力することができ、メタルの膜厚管理を容易に行うことができる。シート抵抗は（1）の式で定義される。ρｓ＝ρ／t ・・・(1) （ρｓ：シート抵抗、ρ：抵抗率、t=膜厚）(1) の式で、抵抗率ρはΩｰcmの単位で表わされ、シート抵抗は通常の電気抵抗と同じディメンジョンをもっている。そのため、シート抵抗の単位は、電気抵抗と区別するためにΩ／
ｓq、またはΩ／□を使用する。
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