半導体用語集
コールドウォール
英語表記：cold wall
CVD装置において、反応室に内蔵されたヒータ又はランプからの放射熱、又は高周波加熱でウエーハを加熱する方法。反応室の壁温度が高温にならないことからホットウォールに対してコールドウォールと呼ばれている。
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