半導体用語集
研削液
英語表記：grinding water
研削の加工点で用いる冷却水のこと。通常は純水を使い、加工点において発生する熱を抑え、研削屑を除去する等の役目がある。研削液の量が適切ではない場合、ウェーハの研削面に多量の熱が発生して生じる面焼けという減少や、砥石の異常消耗等を引き起こしてしまう。
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