半導体用語集
スクリーニング
英語表記：screening
実使用期における故障率を低減する目的で，初期故障期に起きる故障をできるだけ事前に取り除くことをいう。装置などの修理系のアイテムに対しては同様の目的でデバギングが実施されるが，非修理系である半導体デバイスにはスクリーニングという手段が施される⋆。スクリーニングのために用いる手段は，信頼性試験で用いるものと同じである。取り除きたい故障原因に対応した加速要因を選択し，それに合った試験方法を実施する。たとえば，不純物などの欠陥に起因するTDDB故障が起きるデバイスを取り除きたければ，高温バイアス印加試験あるいは高温動作試験を実施する。一般的には高温バイアス印加試験や高温動作試験以外に，高温保管試験，温度サイクル試験が使われることが多い。スクリーニングのための試験は全数に対して実施する必要があるため，正常なデバイスに対する劣化が極軽微である程度で止める必要がある。このため，故障メカニズムに対する正確な知識と十分な経験に基づいて実施する必要がある。
⋆ デバギングとスクリーニングの定義をJIS Z 8115から引用しておく：
(1)デバギング：初期故障を軽減するため，アイテムを使用開始前または使用開始後の初期に動作させて，欠点を検出・除去し，是正すること。
(2)スクリーニング：故障メカニズムに即した試験によって，潜在欠点を含むアイテムを除去すること。
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