半導体用語集
ベベル
英語表記：bevel
ウェーハの外周等に面取り研削を行うこと。
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EAC型
株式会社荏原製作所
本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › キュア装置
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