半導体用語集
走査型電子顕微鏡 SEM
英語表記：scanning electron microscope
直径数nmの電子ビームが、系統的に試料の表面を掃引し、ビームと試料の相互作用により、生ずる二次電子や反射電子の強度を一次ビーム走査と同期して記録する電子顕微鏡。
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