半導体用語集
プラズマフラッドガン PFG
英語表記：plasma flood gun
エレクトロンフラッドガンと同様の同様の目的のための正チャージの中和機構。プラズマを利用してウェーハ上に低エネルギーの電子のみを導くようにした。エレクトロンフラッドガンと比して、電子の過剰供給が起こりにくい。
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