半導体用語集
ナノトポロジー
英語表記：nanotopology
ウェーハ表面においての凸凹間隔（空間波長レンジ、λ）が約0.2～20nmの範囲の表面変化を、ナノトポロジーと呼ぶ。
SEMI M1-0200
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