半導体用語集
オーバフローリンス
英語表記：over flow rinse
水の流れがワークの下方より上方に流れ、槽の上面より、平均的にあふれでる水洗方式。前槽の液の置換能力はクイックダンプリンスより落ちるが、ふっ酸処理後のリンス等に用いる。
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