半導体用語集

ジョブショップ

英語表記:job shop

同種機能の製造装置群をまとめて配置する製造装置レイアウト法。工程順に配列されないための運搬の点では不利であるが、ウェーハ処理工程のように繰り返しが多く、タクトの異なる装置を用いる場合、作業性、スペースの点で有利となる。ベイシステムにおいて、各々のベイに同種機能の装置群を配置しているが、これは本形式の典型である。


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