半導体用語集
同軸マグネトロン スパッタリング装置
英語表記：coaxial magnetron sputtering system
陰極と陽極が同軸円筒状の構造をもつマグネトロン型スパッタリング装置。中心の円筒状のターゲットの内部に、円筒状マグネットが複数個収納され、ターゲット表面と平行な磁界が発生することによりマグネトロン放電を維持する。陰極と陽極の配置が逆転した逆同軸マグネトロン方式もある。
関連製品
「同軸マグネトロン スパッタリング装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「同軸マグネトロン スパッタリング装置」に関連する用語が存在しません。
「同軸マグネトロン スパッタリング装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
