半導体用語集
オートセットアップ
英語表記：auto set up
オペレータがセットアップで行っていた針合わせを，画像処理／光学系を用いて自動で行うもの。その一つとして次のようなものがある。
セットアップの時，オートセットアップで必要なデータがプローバに記憶されていない場合， 自動的にアルミ蒸着ウェハ（ダミーウェハ）に針跡をつけ，その針跡の位置をプローブマークインスペクションを用いて検出する。検出された位置を用いてカードθを合わせた後，光学系とカード間の距離 （x,y）を求め記憶する。次にオペレータが，本ウェハ（測定ウェハ）でセットアップ（針合わせ）を行うが，その時のデータ（原点からの距離など）をすべて記億する。次にその品種を測定する場合，記憶されている内容と品種変更後（カード交換後）に検出したダミーウェハの針跡を用いて自動で針合わせを行うことができる。
つまり，新しい品種のウェハは一度だけオペレータのセットアップが必要であるが，次にその品種を測定する時はプローバが自動でセットアップすることになる。他の方法として，プローブ針を下から観察できる光学系によりプローブ針の位置を求めるものがある。
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