半導体用語集
オーミックコンタクト
英語表記：Ohmic contact
半導体基板と金属を接触した時に、それぞれの仕事関数、電子親和力の違いから界面に生じる接触障壁(ショットキバリア)を小さくし、印加電圧の方向により生じる電流の整流性を抑制し、電圧ー電流特性が線形になるものをオーミックコンタクトという。オーミックコンタクトを作るには半導体に1019/cm3以上の高濃度の不純物を拡散し縮退させ、トンネル電流成分を増やして抵抗を下げる。化合物半導体ではNi-AuGe/GaAsのようにp型、n型不純物を含む多層金属膜を半導体表面に形成し合金化する。
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