半導体用語集
工程間搬送
英語表記：interbay transportation
半導体製造過程において、各製造プロセス群（成膜群、洗浄群など）を一つの工程ととらえ、それらの工程を結ぶ搬送。一般に、工程にはその工程用のストッカ（保管設備）が存在し、工程間搬送はストッカ間の搬送となることが多い。
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