半導体用語集
エッチング残渣
英語表記：etch residue
エッチングされたウェーハ上に残る物質。生成原因としては、プラズマ重合物などの低揮発性の反応生成物、スパッタ分解物、あるいは被エッチング材料中の低揮発性物質などが核となって生じる。これらの残渣は、汚染や腐食の原因となるのみならず、素子の電気的特性に悪影響を与えることがある。
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