半導体用語集
プラズマ汚染
英語表記：plasma contamination
プラズマ中で起る汚染のこと。汚染物の生成原因としては、エッチング残渣と同様なもののみならず、装置を構成する材料からの重金属、Na⁺などのアルカリオンなどがある。表面への堆積と内部への混入とがある。
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