半導体用語集
真空蒸着装置
英語表記：vacuum evaporation
10-2Paより低い圧力の真空装置内に蒸発源と、その周囲にウェーハを置き、蒸発源を加熱することによって材料（金属、ある種の化合物など）を真空中で蒸発させる装置。蒸発原子（あるいは分子）は蒸発源から直進して基板面に凝縮し、堆積する。
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