半導体用語集
早送り速度
英語表記：fast traverse
シード移動、るつぼ移動、素材移動、ファーネス移動、ボート移動など普通の移動速度より10～100倍で送る移動速度。準備工程などで効率的に作業を行う際に利用する。単位は（mm/min）で表示する。
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