半導体用語集

ランプアップ

英語表記:ramp up

ウェーハを熱処理炉内に挿入した後、処理温度まである決められたスピードで温度を上昇させること。単位時間当たりの上昇温度のこと。逆に決められたスピードで温度を下降させることをクールダウンという。


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