半導体用語集
ランプアップ
英語表記：ramp up
ウェーハを熱処理炉内に挿入した後、処理温度まである決められたスピードで温度を上昇させること。単位時間当たりの上昇温度のこと。逆に決められたスピードで温度を下降させることをクールダウンという。
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