半導体用語集
ランプアップ
英語表記:ramp up
ウェーハを熱処理炉内に挿入した後、処理温度まである決められたスピードで温度を上昇させること。単位時間当たりの上昇温度のこと。逆に決められたスピードで温度を下降させることをクールダウンという。
関連製品
「ランプアップ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ランプアップ」に関連する用語が存在しません。
「ランプアップ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。