半導体用語集
超純水
英語表記：de-ionized water
超純水製造装置により水中の懸濁物質、溶解物質および不純物を取り除いたきわめて高純度の水。極微量の微粒子数、生菌数、TOC、シリカ溶存酸素、金属イオン等の濃度で水質が評価される。溶解物質としては、10億分の1（μg/ℓ）ないし１兆分の1（ｎg/ℓ）レベルの純度が要求される。微粒子については最小パターン寸法の10分の1以上の大きさのものが問題とされる。DIW（De-Ionized Water）と呼ぶこともある。
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