半導体用語集
自然酸化膜
英語表記：native oxide
ウェーハを酸化性薬液（例えばAPM液）や純水中で浸漬処理中にウェーハ表面にできる1nm程度の薄い二酸化ケイ素膜。湿分のある大気中に長時間放置していても形成される。
関連製品
RISE-300
株式会社アルバック
バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェーハ200mm、300mmをラインアップしています。
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