半導体用語集
ソースマグネット
英語表記：ion source magnet
イオン源に磁界を印加するための磁石。原子、分子の電離を助長する目的で、直交電磁界や不均一磁界（ミラー磁界）として使用されることが多い。磁界の強さは、イオン源の種類によって異なる。
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